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多晶硅烧结炉技能特点

多晶硅烧结炉技能特点

    多晶硅烧结炉使用范畴:用于多晶硅坩埚烧结、烘烤等产业范畴,每炉可同时包容1~6工位坩埚烧结处置。该设置装备摆设也可用于模具、铸件等金属件的淬火、退火等热处置。

特点:多层保温布局;正面炉壳和炉门接纳双层隔热布局,外壳温度低,绝热性好。

加热方法:加热元件公道部署于炉膛两侧、后墙、炉门、台车事情面底部,共5面加热进步炉温匀称性。

加热元件:优质合金丝制造成螺旋状或波纹状,缠绕在陶瓷管或瓷钉组上,无效包管其热辐射性和寿命。

台车事情面上铺设碳化硅炉板,掩护底部加热元件。

台车接纳一体化路轨或无轨式(依据用户要求)。         

炉膛两侧设置装备摆设冷却风机,顶部开排气通道,无效地进步冷却速率。

温差:炉膛外部温差在5℃ 以内。

控温精度:±1℃

用户可依据热处置工艺恣意编辑曲线,操纵复杂。

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